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Calibrazione al microscopio con il bersaglio di Opto con 1.000 coppie di linee per millimetro

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Taratura di qualsiasi sistema ottico con il target di taratura di Opto

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Poiché ogni microscopio ha una lente, uno schermo o una macchina fotografica diversa, è necessario fare un confronto con uno standard. Per eseguire una calibrazione o un'analisi della capacità della macchina per queste misurazioni ad alta precisione, sono necessari reticoli, quadranti, piastre di prova o piastre di calibrazione appropriati.

I comuni target di test USAF terminano ad una frequenza di circa 250 coppie di linee per millimetro, cioè 2 µm per linea in termini di risoluzione. Anche altre scale disponibili sul mercato hanno per lo più solo larghezze di struttura di diversi micrometri. Il nuovo standard di calibrazione Opto con le sue 1.000 coppie di linee per mm (0,5 µm) e la stella Siemens integrata con geometrie di punta di 500 nm è quindi molto più avanti.

Errore di distorsione nel campo dell'immagine

Soprattutto nella produzione di microsistemi, le esigenze più elevate sono poste al controllo di processo nel campo dei µ. Oltre alla risoluzione, anche la distorsione e la taratura delle lunghezze assolute sono specifiche critiche che spesso sono richieste

Il target di calibrazione contiene griglie puntiformi con diametro rispettivamente di 10 e 20 µm, che sono state sviluppate appositamente per la microscopia e l'elaborazione industriale delle immagini e sono adatte a determinare gli errori di distorsione nel campo dell'immagine. Ciò consente di regolare e correggere i sistemi di analisi delle immagini. I modelli di contrasto sono anche applicati con strutture inverse in diverse dimensioni. La scala integrata lunga 20 mm con passi di 10 µm è ottimale per la taratura degli strumenti di misura. Durante la produzione è stata data grande importanza alla massima riflessione e ai fianchi ad alta risoluzione (transizioni luce-buio). Tutti i parametri ottici di un microscopio e di un sistema di analisi delle immagini possono essere misurati e calibrati con una singola piastra di calibrazione. Le piastre di calibrazione sono fornite opzionalmente con un certificato DKD per poter dimostrare la capacità di misura secondo la norma DIN ISO. Le distanze o i diametri individuali sono misurati e documentati secondo le norme da istituti certificati e sono quindi adatti a dimostrare la capacità di misura dei sistemi. Montate su supporti per microscopi delle dimensioni standard di 76x26x4,5 mm, possono essere facilmente tenute e trasportate e utilizzate con i comuni microscopi o strumenti di misura.

Standard particellare per l'analisi dello sporco residuo

Oltre ai requisiti di precisione dimensionale, la verifica degli algoritmi è sempre più richiesta. Per esempio, l'analisi dello sporco residuo richiede la lunghezza di una fibra. Il problema qui è che una telecamera vede solo una linea nera curva su uno sfondo che purtroppo non è sempre bianco. Quindi come fa il software a sapere di allungare la fibra prima che manchi dall'inizio alla fine? O quando due fibre si trovano una sopra l'altra. Dove finisce l'uno e dove comincia l'altro? Si tratta di esempi semplici, che diventano ancora più complessi e diversificati, soprattutto con campioni difficilmente prevedibili. Pertanto, è stato sviluppato uno standard di particelle a cui sono state applicate delle forme e dei modelli di particelle chiaramente definite su un campo di 50x50mm. L'obiettivo delle particelle è diventato lo standard in questo mercato. Può essere utilizzato per confrontare le prestazioni di diversi sistemi così come uno standard di calibrazione per il proprio dispositivo. Entrambi gli obiettivi sono forniti in una copertura protettiva in legno pregiato, in cui possono essere comodamente trasportati e conservati.

Autore

Markus Riedi, CEO, Opto GmbH