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Ms System per gli studi di desorbimento termico di UHV

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La stazione di lavoro del TPD di Hiden fornisce una piattaforma versatile per gli studi precisamente controllati di desorbimento termico (TDS) nel regime di pressione di UHV attraverso una gamma di temperature da 50 C al C. 1000.

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Le applicazioni comuni comprendono gli studi di desorbimento delle lastre di silicio ed i rivestimenti di sottili pellicole, quantificazione di evoluzione dell'idrogeno dai metalli. La fase del campione, con la rampa della temperatura completamente programmabile ai tassi a 40 C al min, è protetta da un raffreddamento ad acqua d'incorporazione dello scudo termico per minimizzare il degassamento ed il tasso fresco del basso del fra-campione. Il caricamento e l'estrazione veloci del campione è permesso a via il meccanismo della serratura del carico di UHV e di trasferimento del campione, mantenente la qualità primaria ottimale di vuoto. I campioni, tipicamente nella forma del wafer, sono posizionati positivamente sulla fase del campione per assicurare il contatto termico efficiente con la superficie del radiatore. Lo spettrometro di massa del quadruplo, anche con il rivestimento raffreddato ad acqua, è montato con l'apertura dell'accettazione vicino alla superficie del campione per il bloccaggio ottimale dei gas mutevoli. La temperatura del campione è fusa direttamente con il programma morbido di acquisizione e di controllo per la presentazione combinata delle specie mutevoli multiple con la temperatura.